냉각수 시스템

　　공정 냉각수 시스템은 냉각기, 펌프, 열교환기, 물 탱크, 필터 및 공정 장비 등의 부품으로 구성됩니다.

　　 물 냉각기: 냉각수 시스템에 냉수 공급원을 제공합니다.

　　워터 펌프: 물에 압력을 가하여 냉각 시스템의 순환을 보장합니다.

　　 열 교환기: 이 장비를 사용하여 냉수 시스템과 냉수 시스템 사이에서 열을 교환하고 시스템의 부하 측에서 생성된 열을 냉수 시스템으로 전달합니다.열교환기의 종류는 다양하며 형태에 따라 쉘 앤 튜브형, 플레이트형, 플레이트핀형, 히트파이프형 등으로 나눌 수 있습니다.이에 비해 판형 열교환기는 설치 공간이 작고 열 전달 면적이 크다는 장점이 있습니다.공간과 면적의 비용적 특성을 고려하여​​반도체 공장의 경우, 부지 면적과 엔지니어링 비용을 절약하기 위해 설치 면적이 작은 장비를 선호합니다.

　　물탱크: 개방형 시스템의 물탱크는 주로 수원을 보충하는 역할을 합니다.폐쇄형 시스템의 물탱크는 팽창형 물탱크를 선택해야 합니다.팽창수조에는 세 가지 기능이 있습니다.하나는 시스템 내 물의 팽창과 수축을 억제하고 보상하는 것입니다.다른 하나는 폐쇄 순환수 시스템에 안정적인 압력을 제공하고 시스템 안정화 역할을 하는 것입니다.세 번째는 시스템 워터 펌프의 표시로, 일반적으로 팽창 탱크는 시스템 워터 펌프를 시작하거나 종료하라는 신호를 보냅니다.

　　 필터: 고체 입자를 걸러냅니다.공정 냉각수 시스템에는 냉수와 냉각수라는 두 가지 상대적으로 독립적인 시스템이 있습니다.냉각수는 칠러에서 제공되며, 냉수와 냉각수가 열교환하여 냉각수를 냉각시켜 장비의 온도를 낮추는 역할을 합니다.생산설비에서 워터펌프를 거쳐 열교환기로 물을 펌핑하여 냉수량을 조절하여 공정냉각수의 온도를 확보한 후, 필터를 통과한 후 생산라인 설비로 보낸 후 다시 공정냉각수로 보내주는 물입니다. 워터 펌프.형성 과정에서 냉각수는 반복적으로 순환됩니다.냉각수는 냉각기로 직접 반환됩니다.