마이크로 전자공학 및 의약품 생산을 위한 클린룸에서는 생산 과정에서 다양한 산성 및 알칼리성 물질, 유기용제, 일반 가스 및 특수 가스가 종종 사용되거나 생성됩니다.알레르기성 약물, 특정 스테로이드 유기 약물, 고활성 및 독성 약물의 생산 과정에서 해당 유해 물질이 배출되거나 클린룸으로 누출됩니다.따라서 상기 제품의 생산을 위한 클린룸 내 각종 유해물질, 가스, 분진 등이 배출될 수 있는 생산공정 설비나 절차에는 국소배기장치 또는 전실배기장치를 설치하여야 한다.생산과정에서 배출되는 폐가스의 종류에 따라 배기장치(시스템)은 크게 다음과 같은 종류로 나눌 수 있다.
(1) 일반배기장치
(2) 유기가스 배기장치
(3) 산성가스 배기장치
(4) 알칼리성 가스 배기 시스템
(5) 고온가스 배기 시스템
(6) 먼지가 포함된 배기 시스템
(7) 특수가스 배기장치
(8) 의약품 생산 시 유해하고 독성이 있는 배기 시스템