클린룸은 환경 요인을 엄격하게 제어하도록 설계되었지만, 원하는 청결도 수준과 ISO 분류 표준에 도달할 수 있도록 전문적으로 설계된 공기 흐름 패턴이 있는 경우에만 효과적입니다.ISO 문서 14644-4는 엄격한 공기 중 입자 수와 청결을 유지하기 위해 다양한 분류 수준의 클린룸에서 사용되는 공기 흐름 패턴을 설명합니다.
클린룸 공기 흐름은 클린룸 내의 공기가 완전히 변하여 입자와 잠재적인 오염 물질이 침전되기 전에 제거되도록 해야 합니다.이를 적절하게 수행하려면 공기 흐름 패턴이 균일해야 합니다. 즉, 깨끗하고 필터링된 공기가 공간의 모든 부분에 도달할 수 있도록 보장해야 합니다.
클린룸 공기 흐름 균일성의 중요성을 분석하려면 클린룸의 세 가지 주요 공기 흐름 유형을 살펴보는 것부터 시작해야 합니다.
#1 단방향 청정실 공기 흐름
이러한 유형의 클린룸 공기는 팬 필터 장치에서 "더러운" 공기를 제거하는 배기 시스템까지 수평 또는 수직으로 실내를 가로질러 한 방향으로 이동합니다.단방향 흐름은 균일한 패턴을 유지하기 위해 가능한 한 적은 교란이 필요합니다.
#2 비단방향 청정실 공기 흐름
비단방향 공기 흐름 패턴에서 공기는 공간 전체에 걸쳐 간격을 두고 있거나 함께 그룹화되어 여러 위치에 위치한 필터 장치에서 클린룸으로 들어갑니다.공기가 둘 이상의 경로를 따라 흐르도록 계획된 입구 및 출구 지점이 여전히 있습니다.
단방향 기류 클린룸에 비해 공기 품질은 덜 중요하지만 공기가 완전히 교체되도록 특별한 주의를 기울여야 하며 클린룸 내 "데드 존"의 가능성을 최소화해야 합니다.
#3 혼합 청정실 공기 흐름
혼합 공기 흐름은 단방향 및 비단방향 공기 흐름을 모두 결합합니다.단방향 기류는 작업 영역이나 더 민감한 물질 주변의 보호를 강화하기 위해 특정 영역에서 사용될 수 있으며, 비단방향 기류는 여전히 방의 나머지 부분 전체에 깨끗하고 필터링된 공기를 순환합니다.
클린룸 공기 흐름이 단방향, 비단방향 또는 혼합인지 여부,균일한 클린룸 공기 흐름 패턴을 갖는 것이 중요합니다.클린룸은 데드존이나 난기류를 통해 오염 물질이 축적될 수 있는 영역을 방지하기 위해 모든 시스템이 작동해야 하는 통제된 환경을 의미합니다.
데드 존(Dead Zone)은 공기가 난류이거나 변화하지 않고 입자가 쌓이거나 오염 물질이 축적될 수 있는 영역입니다.클린룸의 난류 공기도 청결에 심각한 위협이 됩니다.난류는 기류 패턴이 균일하지 않을 때 발생합니다. 이는 실내로 들어오는 공기의 속도가 균일하지 않거나 들어오거나 나가는 공기 경로의 장애물로 인해 발생할 수 있습니다.
게시 시간: 2022년 11월 10일