100,000 먼지 정화 수준
1. 클린룸의 공기 청정도는 다음과 같이 테스트해야 합니다.
(1) 빈 상태, 정적 테스트
빈 상태 테스트: 클린룸이 완료되고 정화된 공조 시스템이 정상 작동하며 테스트는 공정 장비 및 생산 인력 없이 실내에서 수행됩니다.
정적 테스트: 클린룸 정화 공조 시스템이 정상 작동 중이고 공정 장비가 설치되었으며 테스트는 생산 인력이 실내에 없는 상태에서 수행됩니다.
(2) 동적 테스트
클린룸은 정상적인 생산 조건에서 테스트되었습니다.
클린룸의 풍량, 풍속, 양압, 온도, 습도 및 소음의 감지는 일반 사용 및 공조 관련 규정에 따라 수행될 수 있습니다.
클린룸(면적) 공기청정도표
| 청결 레벨 | 최대 허용 먼지 입자 수/m3≥0.5μm먼지 입자 수 | ≥5μm먼지 입자 수 | 최대 허용 미생물 수 플랑크톤 박테리아/m3 | 박테리아/접시 정착 |
| 100수업 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
| 10,000수업 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
| 100,000수업 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
| 300,000수업 | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
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